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Vakuum-Sublimationsofen aus Siliziumoxid

Geeignet für die Massenproduktion von Aufdampfmaterialien wie Siliziumoxid;Hochpräzise Temperaturdifferenzregelung, Hochtemperatur-Vakuumofen;Mit Hochvakuumsublimation, Reaktion, Entfettung, Dehydrierung, automatischem Schleifschaben aus der Dampfabscheidung, Ofensammlung und anderen speziellen Prozessfunktionen.
Verfügbarkeitsstatus:
Menge:


氧化亚硅真空升华炉+水印

Geeignet für die Massenproduktion von Aufdampfmaterialien wie Siliziumoxid;Hochpräzise Temperaturdifferenzregelung, Hochtemperatur-Vakuumofen;Mit Hochvakuumsublimation, Reaktion, Entfettung, Dehydrierung, Aufdampfmaterial, automatischem Schleifschaben, Ofensammlung und anderen speziellen Prozessfunktionen.


Ausstattungsmerkmale:

Große Materialmenge, hohe Produktionseffizienz.

Der gesamte Prozess ist vollständig geschlossen und läuft automatisch ab, um das Aufwirbeln von Staub zu vermeiden, und die Umgebung am Produktionsstandort ist sauber und ordentlich.

Die Temperatur wird auf 1500 Grad geregelt und die Heizrate ist schnell.Kann einen stabilen Betrieb unter Vakuum aufrechterhalten.


Parameter des Geräts

Ofenstruktur

horizontaler Typ

Größe der Zone konstanter Temperatur

Φ500mm*600mm, Φ600mm*800mm, Φ700mm*1000mm, Φ800mm*1600mm usw.

(kann je nach Kundenwunsch angepasst werden)

Ofenkörper

Die innere und äußere doppelschichtige Wasserkühlungsstruktur und der Kontaktteil des Kühlwassers aus Edelstahl 304 verhindern wirksam, dass der Ofenkörper über einen langen Zeitraum Gasleckphänomene auslöst


Sublimationssystem



Die Heizzone besteht aus Induktionsspule, Schwerkorund, Graphit-Hartfilz und isostatischem Graphit.Der Sammelbereich besteht aus Edelstahl 310S und einer Isolierschicht.

Temperaturkontrollsystem

Mithilfe des zentralisierten SPS-Touchscreen-Steuerungsmodus kann eine automatische Steuerung mit Netzwerkanschluss eine Fernbedienung realisieren.

Heizsystem

Es wird Induktionserwärmung eingesetzt, und die Stromversorgung ist eine energiesparende IGBT-Stromversorgung mit geringem Rauschen und einer Energieeinsparung von etwa 15 % im Vergleich zur herkömmlichen Thyristor-Stromversorgung.

Vakuumsystem

Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung.

Kühlsystem

Ausgestattet mit geschlossenem Kühlsystem, interner Zirkulation mit entionisiertem Wasser, verursacht keine Ablagerungen in der Rohrleitung der Ausrüstung, geringer interner Zirkulationswasserverlust, externe Zirkulation mit Leitungswasser, automatische Wassernachfüllung, Wärmeableitung beim Starten des Lüfters;Guter Wärmeableitungseffekt, integrierter Umweltschutz, geringer Platzbedarf und so weiter.

Die Ausrüstung besteht aus einem Sublimationssystem, einem Sammelsystem, einem Heizsystem, einem Temperaturkontrollsystem, einem Vakuumsystem, einem mechanischen System und einem Kühlsystem.


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