Vakuum-Abscheidungsofen

Vakuum-Beschichtungsofen

Der Vakuumabscheidungsofen wird zur Herstellung von Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoffen verwendet, und der Abscheidungsofen wird hauptsächlich zur Herstellung einer pyrolytischen Kohlenstoffbeschichtung auf der Oberfläche von Graphit, Halbleiterbauelementen und hitzebeständigen Scheuermaterialien verwendet.

Anwendungsbereich:

Graphit, Halbleiterbauelemente, hitzebeständige Scheuermaterialien.

1. Grundparameter:

1) Auslegungstemperatur: 1250℃/1650℃/1800℃/2200℃

2) Gemeinsame Temperatur: 900~1200℃

3) Vakuumgrad: < 50Pa

4) Druckanstiegsrate: 6,67 pA/h (oder 150 Pa/24 h) im kalten Zustand des leeren Ofens

5) Heizmodus: Graphitwiderstandsheizung oder Induktionsheizung, unabhängige Temperaturregelung, gute Temperaturgleichmäßigkeit

6) Atmosphärenmedium: Vakuum /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Gassteuerungsmodus: Massendurchflussmessersteuerung, Mehrkanal-Gaspfad, gleichmäßiges Strömungsfeld, kein toter Ablagerungswinkel, gute Ablagerungswirkung;

Mehrstufiges und effizientes Abgasbehandlungssystem, umweltfreundlich, leicht zu reinigen;

8) Ofentyp: quadratische, runde, vertikale oder horizontale Struktur (nicht standardmäßiges Design), vollständig geschlossene Abscheidungskammer, gute Dichtwirkung, starke Antiverschmutzungsfähigkeit;

9) Ofenkühlmodus: Wasserkühlung im Ofenmantel, schnelles Kühlsystem mit externer Zirkulation kann ausgewählt werden, kurze Kühlzeit, hohe Produktionseffizienz;

2. Aufbau des Vakuumabscheidungsofens:

Strukturform: horizontal – seitlicher Auswurf, vertikal – Auf-/Ab-Auswurf

Verriegelungsmodus der Ofentür: manuell/automatisch

Material des Ofenmantels: innerer Edelstahl/vollständiger Edelstahl

Isoliermaterial: Carbonfilz/Graphitfilz/Carbonfaser-gehärteter Filz

Heizung, Muffelmaterial: Graphit/CFC

Infrarot-Instrument: einfach kolorimetrisch/doppelt kolorimetrisch

Stromversorgung: KGPS/IGBT (nur für Mittelfrequenzheizung geeignet)

3 、  Produktspezifikation