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Geeignet für die Massenproduktion von Aufdampfmaterialien wie Siliziumoxid;Hochpräzise Temperaturdifferenzregelung, hocheffizienter Ofen;Mit Hochvakuum-Sublimation, Reaktion, Entfettung, Dehydrierung, Aufdampfmaterial, automatischem Schleifschaben, Ofensammlung und anderen speziellen Prozessfunktionen.
Ausstattungsmerkmale:
Große Materialmenge, hohe Produktionseffizienz.
Der gesamte Prozess ist vollständig geschlossen und läuft automatisch ab, um Staubflug zu vermeiden, und die Umgebung am Produktionsstandort ist sauber und ordentlich. Die Temperatur wird auf 1500 Grad geregelt und die Aufheizrate ist schnell.
Kann einen stabilen Betrieb unter Vakuum aufrechterhalten.
Ofenstruktur | |
Größe der Zone konstanter Temperatur | Φ500mm*600mm, Φ600mm*800mm, Φ700mm*1000mm, Φ800mm*1600mm usw. (kann je nach Kundenwunsch angepasst werden) |
Ofenkörper | Die innere und äußere doppelschichtige Wasserkühlungsstruktur und der Kontaktteil des Kühlwassers aus Edelstahl 304 verhindern wirksam, dass der Ofenkörper über einen langen Zeitraum Gasleckphänomene auslöst |
Sublimationssystem
| Die Heizzone besteht aus Induktionsspule, Schwerkorund, Graphit-Hartfilz und isostatischem Graphit.Der Sammelbereich besteht aus Edelstahl 310S und einer Isolierschicht. |
Temperaturkontrollsystem | Mithilfe des zentralisierten SPS-Touchscreen-Steuerungsmodus kann eine automatische Steuerung mit Netzwerkanschluss eine Fernbedienung realisieren. |
Heizsystem | Es wird Induktionserwärmung eingesetzt, und die Stromversorgung ist eine energiesparende IGBT-Stromversorgung mit geringem Rauschen und einer Energieeinsparung von etwa 15 % im Vergleich zur herkömmlichen Thyristor-Stromversorgung. |
Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung. | |
Kühlsystem | Ausgestattet mit geschlossenem Kühlsystem, interner Zirkulation mit entionisiertem Wasser, verursacht keine Ablagerungen in der Rohrleitung der Ausrüstung, geringer interner Zirkulationswasserverlust, externe Zirkulation mit Leitungswasser, automatische Wassernachfüllung, Wärmeableitung beim Starten des Lüfters;Guter Wärmeableitungseffekt, integrierter Umweltschutz, geringer Platzbedarf und so weiter. |
Die Ausrüstung besteht aus einem Sublimationssystem, einem Sammelsystem, einem Heizsystem, einem Temperaturkontrollsystem, einem Vakuumsystem, einem mechanischen System und einem Kühlsystem. | |
Vorteile
1. Hohe Temperaturstabilität: Der Siliziumoxid-Abscheidungsofen kann Siliziumoxidfilme bei hoher Temperatur und mit guter Hochtemperaturstabilität abscheiden.Dadurch ist es möglich, einen präzisen Abscheidungsprozess unter Hochtemperaturbedingungen zu erreichen und so die Qualität und Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Films sicherzustellen.
2. Präzise Temperaturregelung: Der Siliziumoxid-Abscheidungsofen ist mit einem fortschrittlichen Temperaturregelungssystem ausgestattet, das eine genaue Temperaturregelung erreichen kann.Dies ist für den Siliziumoxid-Abscheidungsprozess sehr wichtig, da sich die Temperaturkontrolle direkt auf die Eigenschaften und Qualität der abgeschiedenen Filme auswirkt.
3. Hochvakuum: Der Siliziumoxid-Abscheidungsofen bietet eine Hochvakuumumgebung, die Sauerstoff und andere Verunreinigungen effektiv entfernen kann.Dies trägt dazu bei, die Reinheit des Abscheidungsprozesses sicherzustellen und den Einfluss von Verunreinigungen auf die Eigenschaften des abgeschiedenen Films zu vermeiden.
4. Gleichmäßige Abscheidung: Der Silooxid-Abscheidungsofen kann eine gleichmäßige Abscheidung erreichen, um die Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Films sicherzustellen.Dies ist wichtig für Anwendungen, die eine hohe Gleichmäßigkeit erfordern, wie etwa Halbleiter und Optoelektronik.
5. Flexibilität: Siliziumoxid-Abscheidungsöfen verfügen über eine hohe Flexibilität und können je nach Bedarf angepasst und optimiert werden.Beispielsweise können Parameter wie Abscheidungsrate und Atmosphärenkontrolle angepasst werden, um den Anforderungen verschiedener Materialien und Anwendungen gerecht zu werden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Siliziumoxid-Abscheidungsofen die Vorteile einer hohen Temperaturstabilität, einer präzisen Temperaturkontrolle, eines hohen Vakuums, einer gleichmäßigen Abscheidung und Flexibilität bietet, was ihn zu einem idealen Gerät für die Abscheidung von Siliziumoxidfilmen macht.
Willkommene Kunden, um uns eine E-Mail zu senden oder uns anzurufen Um unsere Produkte zu konsultieren, heißen wir Kunden aus der ganzen Welt herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen und bei uns zu bestellen.Wir können die Ausrüstung an die Kundenanforderungen anpassen, die Kundenmarke aufkleben und den Kunden individuelle Zertifikate ausstellen.Bei Anfragen oder Fragen können Sie sich gerne an uns wenden, danke!
Geeignet für die Massenproduktion von Aufdampfmaterialien wie Siliziumoxid;Hochpräzise Temperaturdifferenzregelung, hocheffizienter Ofen;Mit Hochvakuum-Sublimation, Reaktion, Entfettung, Dehydrierung, Aufdampfmaterial, automatischem Schleifschaben, Ofensammlung und anderen speziellen Prozessfunktionen.
Ausstattungsmerkmale:
Große Materialmenge, hohe Produktionseffizienz.
Der gesamte Prozess ist vollständig geschlossen und läuft automatisch ab, um Staubflug zu vermeiden, und die Umgebung am Produktionsstandort ist sauber und ordentlich. Die Temperatur wird auf 1500 Grad geregelt und die Aufheizrate ist schnell.
Kann einen stabilen Betrieb unter Vakuum aufrechterhalten.
Ofenstruktur | |
Größe der Zone konstanter Temperatur | Φ500mm*600mm, Φ600mm*800mm, Φ700mm*1000mm, Φ800mm*1600mm usw. (kann je nach Kundenwunsch angepasst werden) |
Ofenkörper | Die innere und äußere doppelschichtige Wasserkühlungsstruktur und der Kontaktteil des Kühlwassers aus Edelstahl 304 verhindern wirksam, dass der Ofenkörper über einen langen Zeitraum Gasleckphänomene auslöst |
Sublimationssystem
| Die Heizzone besteht aus Induktionsspule, Schwerkorund, Graphit-Hartfilz und isostatischem Graphit.Der Sammelbereich besteht aus Edelstahl 310S und einer Isolierschicht. |
Temperaturkontrollsystem | Mithilfe des zentralisierten SPS-Touchscreen-Steuerungsmodus kann eine automatische Steuerung mit Netzwerkanschluss eine Fernbedienung realisieren. |
Heizsystem | Es wird Induktionserwärmung eingesetzt, und die Stromversorgung ist eine energiesparende IGBT-Stromversorgung mit geringem Rauschen und einer Energieeinsparung von etwa 15 % im Vergleich zur herkömmlichen Thyristor-Stromversorgung. |
Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung. | |
Kühlsystem | Ausgestattet mit geschlossenem Kühlsystem, interner Zirkulation mit entionisiertem Wasser, verursacht keine Ablagerungen in der Rohrleitung der Ausrüstung, geringer interner Zirkulationswasserverlust, externe Zirkulation mit Leitungswasser, automatische Wassernachfüllung, Wärmeableitung beim Starten des Lüfters;Guter Wärmeableitungseffekt, integrierter Umweltschutz, geringer Platzbedarf und so weiter. |
Die Ausrüstung besteht aus einem Sublimationssystem, einem Sammelsystem, einem Heizsystem, einem Temperaturkontrollsystem, einem Vakuumsystem, einem mechanischen System und einem Kühlsystem. | |
Vorteile
1. Hohe Temperaturstabilität: Der Siliziumoxid-Abscheidungsofen kann Siliziumoxidfilme bei hoher Temperatur und mit guter Hochtemperaturstabilität abscheiden.Dadurch ist es möglich, einen präzisen Abscheidungsprozess unter Hochtemperaturbedingungen zu erreichen und so die Qualität und Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Films sicherzustellen.
2. Präzise Temperaturregelung: Der Siliziumoxid-Abscheidungsofen ist mit einem fortschrittlichen Temperaturregelungssystem ausgestattet, das eine genaue Temperaturregelung erreichen kann.Dies ist für den Siliziumoxid-Abscheidungsprozess sehr wichtig, da sich die Temperaturkontrolle direkt auf die Eigenschaften und Qualität der abgeschiedenen Filme auswirkt.
3. Hochvakuum: Der Siliziumoxid-Abscheidungsofen bietet eine Hochvakuumumgebung, die Sauerstoff und andere Verunreinigungen effektiv entfernen kann.Dies trägt dazu bei, die Reinheit des Abscheidungsprozesses sicherzustellen und den Einfluss von Verunreinigungen auf die Eigenschaften des abgeschiedenen Films zu vermeiden.
4. Gleichmäßige Abscheidung: Der Silooxid-Abscheidungsofen kann eine gleichmäßige Abscheidung erreichen, um die Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Films sicherzustellen.Dies ist wichtig für Anwendungen, die eine hohe Gleichmäßigkeit erfordern, wie etwa Halbleiter und Optoelektronik.
5. Flexibilität: Siliziumoxid-Abscheidungsöfen verfügen über eine hohe Flexibilität und können je nach Bedarf angepasst und optimiert werden.Beispielsweise können Parameter wie Abscheidungsrate und Atmosphärenkontrolle angepasst werden, um den Anforderungen verschiedener Materialien und Anwendungen gerecht zu werden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Siliziumoxid-Abscheidungsofen die Vorteile einer hohen Temperaturstabilität, einer präzisen Temperaturkontrolle, eines hohen Vakuums, einer gleichmäßigen Abscheidung und Flexibilität bietet, was ihn zu einem idealen Gerät für die Abscheidung von Siliziumoxidfilmen macht.
Willkommene Kunden, um uns eine E-Mail zu senden oder uns anzurufen Um unsere Produkte zu konsultieren, heißen wir Kunden aus der ganzen Welt herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen und bei uns zu bestellen.Wir können die Ausrüstung an die Kundenanforderungen anpassen, die Kundenmarke aufkleben und den Kunden individuelle Zertifikate ausstellen.Bei Anfragen oder Fragen können Sie sich gerne an uns wenden, danke!
