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Geeignet für die Massenproduktion von Aufdampfmaterialien wie Siliziumoxid; Hochpräzise Temperaturdifferenzregelung, Hochtemperatur-Vakuumofen; Mit Hochvakuum-Sublimation, Reaktion, Entfettung, Dehydrierung, Aufdampfmaterial, automatischem Schleifschaben, Ofensammlung und anderen speziellen Prozessfunktionen.
Ausstattungsmerkmale:
Große Materialmenge, hohe Produktionseffizienz.
Der gesamte Prozess ist vollständig geschlossen und läuft automatisch ab, um das Aufwirbeln von Staub zu vermeiden, und die Umgebung am Produktionsstandort ist sauber und ordentlich.
Die Temperatur wird auf 1500 Grad geregelt und die Heizrate ist schnell. Kann einen stabilen Betrieb unter Vakuum aufrechterhalten.
Modell | GJC-SHL-118 | GJC-SHL-226 | GJC-SHL-385 | GJC-SHL-804 |
Ofenstruktur | Horizontal | |||
Zonengröße mit konstanter Temperatur | Φ500mm*600mm | Φ600mm*800mm | Φ700mm*1000mm | Φ800mm*1600mm |
Ofenkörper | Die innere und äußere doppelschichtige Wasserkühlungsstruktur und der Kontaktteil des Kühlwassers aus Edelstahl 304 verhindern wirksam, dass der Ofenkörper über einen langen Zeitraum Gasleckphänomene auslöst | |||
Sublimationssystem | Die Heizzone besteht aus Induktionsspule, Schwerkorund, Graphit-Hartfilz und isostatischem Graphit. Der Sammelbereich besteht aus Edelstahl 310S und einer Isolierschicht. | |||
Temperaturkontrollsystem | Mithilfe des zentralisierten SPS-Touchscreen-Steuerungsmodus kann eine automatische Steuerung mit Netzwerkanschluss eine Fernbedienung realisieren. | |||
Heizsystem | Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung. | |||
Vakuumsystem | Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung. | |||
Kühlsystem | 。Ausgestattet mit geschlossenem Kühlsystem, interne Zirkulation mit entionisiertem Wasser, verursacht keine Verkalkung der Geräteleitung, geringer interner Zirkulationswasserverlust, externe Zirkulation mit Leitungswasser, automatische Wassernachfüllung, Lüfterstart-Wärmeableitung; Guter Wärmeableitungseffekt, integrierter Umweltschutz, geringer Platzbedarf und so weiter. | |||
Die Ausrüstung besteht aus einem Sublimationssystem, einem Sammelsystem, einem Heizsystem, einem Temperaturkontrollsystem, einem Vakuumsystem, einem mechanischen System und einem Kühlsystem. | ||||
Geeignet für die Massenproduktion von Aufdampfmaterialien wie Siliziumoxid; Hochpräzise Temperaturdifferenzregelung, Hochtemperatur-Vakuumofen; Mit Hochvakuum-Sublimation, Reaktion, Entfettung, Dehydrierung, Aufdampfmaterial, automatischem Schleifschaben, Ofensammlung und anderen speziellen Prozessfunktionen.
Ausstattungsmerkmale:
Große Materialmenge, hohe Produktionseffizienz.
Der gesamte Prozess ist vollständig geschlossen und läuft automatisch ab, um das Aufwirbeln von Staub zu vermeiden, und die Umgebung am Produktionsstandort ist sauber und ordentlich.
Die Temperatur wird auf 1500 Grad geregelt und die Heizrate ist schnell. Kann einen stabilen Betrieb unter Vakuum aufrechterhalten.
Modell | GJC-SHL-118 | GJC-SHL-226 | GJC-SHL-385 | GJC-SHL-804 |
Ofenstruktur | Horizontal | |||
Zonengröße mit konstanter Temperatur | Φ500mm*600mm | Φ600mm*800mm | Φ700mm*1000mm | Φ800mm*1600mm |
Ofenkörper | Die innere und äußere doppelschichtige Wasserkühlungsstruktur und der Kontaktteil des Kühlwassers aus Edelstahl 304 verhindern wirksam, dass der Ofenkörper über einen langen Zeitraum Gasleckphänomene auslöst | |||
Sublimationssystem | Die Heizzone besteht aus Induktionsspule, Schwerkorund, Graphit-Hartfilz und isostatischem Graphit. Der Sammelbereich besteht aus Edelstahl 310S und einer Isolierschicht. | |||
Temperaturkontrollsystem | Mithilfe des zentralisierten SPS-Touchscreen-Steuerungsmodus kann eine automatische Steuerung mit Netzwerkanschluss eine Fernbedienung realisieren. | |||
Heizsystem | Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung. | |||
Vakuumsystem | Es besteht aus einer mehrstufigen Vakuumpumpe, einem Vakuumventil, einem Druckregler und einer Rohrleitung. | |||
Kühlsystem | 。Ausgestattet mit geschlossenem Kühlsystem, interne Zirkulation mit entionisiertem Wasser, verursacht keine Verkalkung der Geräteleitung, geringer interner Zirkulationswasserverlust, externe Zirkulation mit Leitungswasser, automatische Wassernachfüllung, Lüfterstart-Wärmeableitung; Guter Wärmeableitungseffekt, integrierter Umweltschutz, geringer Platzbedarf und so weiter. | |||
Die Ausrüstung besteht aus einem Sublimationssystem, einem Sammelsystem, einem Heizsystem, einem Temperaturkontrollsystem, einem Vakuumsystem, einem mechanischen System und einem Kühlsystem. | ||||
