Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist eine Art chemische Technologie, bei der hauptsächlich eine oder mehrere gasförmige Verbindungen oder Elemente, die Dünnfilmelemente enthalten, verwendet werden, um durch chemische Reaktion auf der Oberfläche des Substrats einen Dünnfilm zu erzeugen.Der Ofen zur chemischen Gasphasenabscheidung ist eine neue Technologie zur Herstellung