Die Hauptmerkmale des Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist eine Art chemische Technologie, bei der hauptsächlich eine oder mehrere gasförmige Verbindungen oder Elemente, die Dünnfilmelemente enthalten, verwendet werden, um durch chemische Reaktion auf der Oberfläche des Substrats einen Dünnfilm zu erzeugen.Der Ofen zur chemischen Gasphasenabscheidung ist eine neue Technologie zur Herstellung anorganischer Materialien, die in den letzten Jahrzehnten entwickelt wurde.Die chemische Gasphasenabscheidung wird häufig zur Reinigung von Substanzen, zur Entwicklung neuer Kristalle und zur Abscheidung verschiedener monokristalliner, polykristalliner oder glasartiger anorganischer Filmmaterialien eingesetzt.

Hauptmerkmale des Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung:

1) Bei mittlerer oder hoher Temperatur wird durch die chemische Gasphasenreaktion zwischen den Ausgangsverbindungen im gasförmigen Zustand festes Material auf der Matrix abgeschieden.

2) Kann unter atmosphärischen Druck- oder Vakuumbedingungen abgeschieden werden (Unterdruckabscheidung, normalerweise ist die Qualität des Vakuumabscheidungsfilms besser).

3) Durch den Einsatz plasma- und lasergestützter Technologie kann die chemische Reaktion erheblich gefördert werden, so dass die Abscheidung bei niedrigeren Temperaturen durchgeführt werden kann.

4) Die chemische Zusammensetzung der Beschichtung kann sich mit der Änderung der Gasphasenzusammensetzung ändern, so dass Gradientenablagerungen oder gemischte Beschichtungen entstehen.

5) Die Dichte und Reinheit der Beschichtung kann kontrolliert werden.

6) Wickeln Sie die Beschichtungsteile gut ein.Es kann sowohl auf eine Matrix mit komplexer Form als auch auf körnige Materialien aufgetragen werden.Geeignet zum Beschichten einer Vielzahl komplexer Formen des Werkstücks.Aufgrund seiner guten Beschichtungsleistung können Werkstücke mit Nuten, Nuten, Löchern und sogar Sacklöchern beschichtet werden.

7) Die Sedimentschicht hat normalerweise eine säulenförmige Kristallstruktur und ist nicht biegefest, ihre Struktur kann jedoch durch Gasphasenstörung chemischer Reaktionen durch verschiedene Techniken verbessert werden.

8) Überzüge aus verschiedenen Metallen, Legierungen, Keramiken und Verbindungen können durch verschiedene Reaktionen gebildet werden.