Der Dampfabscheidungsofen ist ein wichtiges Material für die Materialvorbereitung, das in der Materialwissenschaft und -technik häufig eingesetzt wird. Zu den Hauptfunktionen gehören:
Materialwachstum und Ablagerung : Filme, Nanopartikel und andere fortschrittliche Materialien werden erzeugt, indem eine Mischung von Gasen auf einen Ofen übertragen wird, in dem die Gase bei hohen Temperaturen abgebaut werden. Die resultierenden Atome oder Moleküle werden auf einem festen Substrat abgelagert.
Wärmebehandlung : Zusätzlich zur Materialabscheidung kann der Dampfabscheidungsofen auch zum Pulverbraten verschiedener Materialien, zum Keramiksintern, zum Hochtemperaturexperiment, zur Materialbehandlung usw. verwendet werden.
Filmvorbereitung : einschließlich Metalfilm, Halbleiterfilm, optischer Film usw. Durch Kontrolle der Reaktionsbedingungen und der Materialversorgung können dünne Filmmaterialien mit spezifischen Eigenschaften und Strukturen erhalten werden.
Nanomaterialpräparation : Nanometermaterialien wie Nanopartikel und Nanodrähte können vorbereitet werden. Nanomaterialien mit unterschiedlichen Morphologien und Größen können durch Anpassung der Reaktionsbedingungen und Substratmaterialien synthetisiert werden.
Anwendungen der Halbleiterindustrie : In der Halbleiterindustrie werden Dampfabscheidungsöfen für kritische Prozesse wie Filmablagerung, Waferreinigung und Oberflächenbehandlung verwendet.
Pulvermetallurgie : Kann im Feld der Pulvermetallurgie verwendet werden, die Bildung von Metall- oder Keramikmaterialien durch Gasreaktion.
optisches Materialpräparat : transparente optische Materialien werden zur Herstellung von optischen Geräten und optischen Beschichtungen synthetisiert.
Anwendung von Universitäten und wissenschaftlichen Forschungsinstituten : Als experimentelle Ausrüstung, die im Hochtemperatur -Atmosphäre, Sintern, Atmosphäre, CVD -Experiment, Vakuumglühen und andere Forschungsexperimente verwendet wird.