Vakuumofen, ein Gerät, das für eine bestimmte Umgebung ausgelegt ist, ist das Prinzip, dass durch das Vakuumsystem das Material in der Ofenkammer entfernt wird, um eine Vakuumumgebung unter dem standardmäßigen atmosphärischen Druck zu schaffen. Mit diesem Vorgang kann die Geräte unter Vakuum arbeiten und für eine Vielzahl von Prozessen geeignet sind.
Die Struktur des Vakuumofens umfasst hauptsächlich Ofen, Heizelement, Temperaturkontrollsystem, Vakuumsystem, Wasserkühlsystem und versiegelte Ofenschale. Der Ofen ist in Edelstahl, Keramikfaser, Molybdänfolie und Graphit und andere Materialien unterteilt. Die maximale Temperatur kann 2200 ℃ erreichen. Heizelemente wie Resistenzdraht, Siliziumkohlenstoffstab, Molybdän -Draht -Molybdän -Stab, Siliziummolybdänstange, Graphit und Induktionsspule erreichten auch 2200 ℃. Das Vakuumsystem besteht aus Vakuumventilen, mechanischen Pumpen, Diffusionspumpen, Wurzelpumpen usw., um das höchste Vakuum von 7 × 10 bis 3pa zu erreichen. Das Wasserkühlsystem sorgt für den normalen Betrieb der Ausrüstung gemäß der Ofengröße. Die versiegelte Ofenschale muss eine gute Versiegelungsleistung haben, um die Anforderungen des Vakuum -Konstruktionsgrades zu erfüllen.
Gemäß der Heizmethode kann der Vakuumofen in Vakuumfestigkeitsofen, Vakuuminduktionsofen, Vakuum -Elektro -Lichtbogenofen, Vakuumverbrauchsbogenofen, Elektronenstrahlofen (Elektronenbombardierungsofen) und Plasmaofen unterteilt werden. Diese Geräte werden bei hohem Temperatur -Vakuumsintern, Glühen, Temperieren, Alterungsbehandlung von Keramikmaterialien, Keramikmetallverbundstoffen, feuerfesten Metallen, Legierungsmaterialien und Vakuumlöckchen von Legierungswerkzeugen und Superhard -Materialien häufig eingesetzt.