Vorsichtsmaßnahmen für den Vakuumbeschichtungsofen

Der Vakuum-Beschichtungsofen besteht aus einer Beschichtungskammer, einem Gasversorgungssystem und einem Abgassystem.Es handelt sich um eine Produktionsanlage, die Widerstandserwärmung oder Induktionserwärmung verwendet, um das Abscheidungsgas in einer Vakuumumgebung zu leiten und bei hoher Temperatur eine Pyrolyse zu erzeugen und es auf dem Werkstück abzuscheiden, um das Verbundmaterial zu verdichten.Der Vakuumabscheidungsofen wird zur Herstellung von Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoffen verwendet, und der Abscheidungsofen wird hauptsächlich zur Herstellung der oberflächenpyrolytischen Kohlenstoffbeschichtung von Graphit, Halbleiterbauelementen und hitzebeständigen Scheuermaterialien verwendet.

Merkmale: Einfache Bedienung, einfache Wartung, kann eine Vielzahl von Arten von Beschichtungen und Verbundwerkstoffen herstellen, Produkte kompakt und gleichmäßig, hohe Reinheit und Kristallgröße. Anwendungen: Kohlenstoffkohlenstoffprodukte, pyrolytischer Graphit, hitzebeständige Materialbeschichtung, Pulversynthese

Vorsichtsmaßnahmen für den Vakuum-Beschichtungsofen:

1. Wird im kalten Zustand beim Vakuumieren festgestellt, dass der Druckunterschied zwischen der Innen- und Außenkammer zu groß ist, sollte rechtzeitig überprüft werden, ob das Verbindungsventil der Innen- und Außenkammer geöffnet ist, wenn nicht geöffnet Der Hochtemperaturzustand führt zu einer Extrusionsverformung der Innenkammer, in schweren Fällen zu Rissen und zu oxidierenden Produkten.

In 2 wird das mit der Innen- und Außenkammer verbundene Ventil nur dann geschlossen, wenn die schnelle Abkühlung erfolgt oder die Innen- und Außenkammer getrennt werden müssen, um die Druckanstiegsrate zu messen, und in der übrigen Zeit muss es vollständig geöffnet sein.

3. Während des Betriebs muss die Wartung des Ofens gestoppt werden, der Prozess des Einfüllens von Stickstoff in den Ofen. Der Bediener muss auf die Szene warten und jederzeit die Druckänderungen im Ofen beobachten, wenn der Druck aufgefüllt wird Mikroüberdruck, stoppen Sie die Inflation.Ein zu hoher Fülldruck kann schwerwiegende Folgen haben, z. B. das Herausdrücken des Ofendeckels und die Oxidation des Produkts.Wenn die Schrauben der Ofenabdeckung festgezogen werden, kann die Ofenabdeckung explodieren und herausfliegen, was zu Verletzungen führen kann.

4. Während des gesamten Betriebs der Anlage sollte regelmäßig überprüft werden, ob die Kühlwasserleitung glatt ist und ob sich Wasser in der Ofenbodengrube befindet.Übersteigt das Wasser die Höhe des Ofenbodens, sollte es rechtzeitig mit der Pumpe abgesaugt werden.

5. Wenn die Raumtemperatur hoch ist, müssen der Kühlventilator der Transformatortemperaturregelung und der Kühlventilator des Systemschranks geöffnet werden.